双模式三维表面形貌仪参数说明
点击次数:2560 更新时间:2017-03-15
双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测
项 目 简 述
1、双模式三维表面形貌仪——共焦
可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。
使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。
具有光学形貌上zui高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的*配置。
在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%- 100%)
应用于透明层/薄膜。
兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。
长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
*的稳定性。
2、双模式三维表面形貌仪——干涉仪(WLI)
Z向高分辨率, 亚纳米级
兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式
Z向分辨率可独立放大
四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光,绿光,蓝光和红光)
高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机
快速处理器在业界位于水平
自动对焦
3、双模式三维表面形貌仪——原子力显微镜
探针扫描可用于大型模板
X, Y, Z三向可达原子级分辨率
大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
4、双模式三维表面形貌仪——变焦
粗糙度表面分析
快速分析
特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜
上一篇: 原子力显微镜的样品要求
下一篇:原子力显微镜(AFM)简介