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美国SVT RF/射频等离子源时间：2024-11-28型号：2.75/4.5“/6.0''厂商性质：经销商浏览量：3447美国SVT RF/射频等离子源产品简介： 美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号。 法兰接口包括： 2.75''、4.5''、6''。 等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。 产生的束流含有零离子，有助于生长高质量的薄膜，也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。
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