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共聚焦三维表面形貌仪参数说明

点击次数:1755 发布时间:2017-08-15
 共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上zui高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的zui佳配置。

项 目 简 述

参数说明

共聚焦三维表面形貌仪

 

可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。

具有光学形貌上zui高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的zui佳配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%- 100%)

 应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

 *的稳定性。

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