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白光干涉仪在实际中应该怎么测量

点击次数:3883 发布时间:2018-11-13
  白光干涉仪目前在3D检测领域是精度zui高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了白光干涉仪,其它的仪器无法达到其加工精度要求。
 
  白光干涉仪基本原理:
  是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
 
  白光干涉仪产品用途:
  结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。
 
  白光干涉仪的测量应用:
  以测量单刻线台阶为例,在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。
 
  白光干涉仪的特点:
  1、非接触式测量:避免物件受损。
  2、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
  3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
  4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
  5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
  6、扫描仪:闭环控制系统。
  7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
  8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
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