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原子力显微镜的分辨力受什么因素限制?

点击次数:983 发布时间:2020-11-18
  与传统的光学显微镜、电子显微镜相比,原子力显微镜的分辨本领主要受什么因素限制?
 
  传统的光学显微镜的分辨本领受到光衍射极限的限制,其小分辨距离为其光波长的一半。电子显微镜的分辨本领同样受到衍射极限的限制,其小分辨本领为电子德布罗意波长的一半,因此电子显微镜可以达到比传统光学显微镜更高的分辨本领。
 
  原子力显微镜的分辨本领主要取决于:探针针尖的尺寸;微悬臂的弹性系数,弹性系数越低,原子力显微镜越灵敏;悬臂的长度和激光光线的长度之比;探测器PSD对光斑位置的灵敏度。对于分辨率一定的图像,扫描范围越小,获得的表面形貌越精细。
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