为什么大家都在用化学机械抛光机，它到底有什么作用？
点击次数：973 更新时间：2022-09-13
化学机械抛光机是一种用于电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。它是一款的CMP化学机械抛光系统，采用半导体工业级的设计理念，为科研工作者、CMP耗材研发生产企业和CMP工艺开发企业提供了一套符合半导体工业要求的设备，可兼容多英寸晶片样品。
化学机械抛光机原理：
化学机械抛光是金属表面通过有规则溶解达到光亮平滑。在化学抛光过程中，钢铁零件表面不断形成钝化氧化膜和氧化膜不断溶解，且前者要强于后者。由于零件表面微观的不一致性，表面微观凸起部位优先溶解，且溶解速率大于凹下部位的溶解速率；而且膜的溶解和膜的形成始终同时进行，只是其速率有差异，结果使钢铁零件表面粗糙度得以整平，从而获得平滑光亮的表面。抛光可以填充表面毛孔、划痕以及其它表面缺陷，从而提高疲劳阻力、腐蚀阻力。
化学机械抛光机的作用：
1.可以达到整平表面，清除毛刺毛边的作用。
2.可达不锈钢配件镜面光泽，凹凸性降低，反射能高，流动性更快。
3.处理后的工件表面光滑细密，表面的亮度比机械抛光更好，可接受异形件，任何部件均可处理，使用工艺简捷，效果超过电解（抛光）抛光。
4.表面机械力产生的硬化层被化学药水溶解掉，产生的应力消除，优化电焊性能。
5.比机械抛光更好，其显露和倒伏的毛刺可*剔除，内壁不产生电弧火花，不锈钢配件显示面光滑平整。表面被钝化，铁元素溶解的多从表面熔解，配件表面的平整性显著提高并贾强，增加不锈钢弓箭表面的抗氧化性，标面亮度，光滑性和卫生性都可明显踢高。
6.化学机械抛光已经打到美国标准，另外XPS等检测结果也符合半导体SEMI标准。
特点：
1.化学机械抛光机内联温度传感器；
2.内联摩擦、声发射研究抛光过程；
3.可安装多种晶圆尺寸；
4.可控制的下压力和速度；
5.集成的共聚焦3D显微镜，可以用nm分辨率表征抛光垫表面。
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