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为什么大家都在用化学机械抛光机,它到底有什么作用?

点击次数:25 发布时间:2022-09-13
  化学机械抛光机是一种用于电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。它是一款的CMP化学机械抛光系统,采用半导体工业级的设计理念,为科研工作者、CMP耗材研发生产企业和CMP工艺开发企业提供了一套符合半导体工业要求的设备,可兼容多英寸晶片样品。 

  化学机械抛光机原理:
  化学机械抛光是金属表面通过有规则溶解达到光亮平滑。在化学抛光过程中,钢铁零件表面不断形成钝化氧化膜和氧化膜不断溶解,且前者要强于后者。由于零件表面微观的不一致性,表面微观凸起部位优先溶解,且溶解速率大于凹下部位的溶解速率;而且膜的溶解和膜的形成始终同时进行,只是其速率有差异,结果使钢铁零件表面粗糙度得以整平,从而获得平滑光亮的表面。抛光可以填充表面毛孔、划痕以及其它表面缺陷,从而提高疲劳阻力、腐蚀阻力。

 


 

  化学机械抛光机的作用:
  1.可以达到整平表面,清除毛刺毛边的作用。
  2.可达不锈钢配件镜面光泽,凹凸性降低,反射能高,流动性更快。
  3.处理后的工件表面光滑细密,表面的亮度比机械抛光更好,可接受异形件,任何部件均可处理,使用工艺简捷,效果超过电解(抛光)抛光。
  4.表面机械力产生的硬化层被化学药水溶解掉,产生的应力消除,优化电焊性能。
  5.比机械抛光更好,其显露和倒伏的毛刺可完全剔除,内壁不产生电弧火花,不锈钢配件显示面光滑平整。表面被钝化,铁元素溶解的多从表面熔解,配件表面的平整性显著提高并贾强,增加不锈钢弓箭表面的抗氧化性,标面亮度,光滑性和卫生性都可明显踢高。
  6.化学机械抛光已经打到美国标准,另外XPS等检测结果也符合半导体SEMI标准。

  特点:
  1.化学机械抛光机内联温度传感器;
  2.内联摩擦、声发射研究抛光过程;
  3.可安装多种晶圆尺寸;
  4.可控制的下压力和速度;
  5.集成的共聚焦3D显微镜,可以用nm分辨率表征抛光垫表面。
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