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白光干涉仪的特点和应用领域

点击次数:2319 更新时间:2016-01-26
 白光干涉仪特点:  
1、非接触式测量:避免物件受损。  
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm---200μm。  
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。  
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。  
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。  
6、扫描仪:闭环控制系统。  
7、工作台:气动装置、抗震、抗压
8、测量软件:基于windows/Mac/操作系统的用户界面,强大而快速的运算。  
白光干涉仪应用领域:  
1、半导体晶片  
2、液晶产品(CS,LGP,BIU)  
3、微机电系统  
4、光纤产品  
5、数据存储盘(HDD,DVD,CD)  
6、材料研究  
7、精密加工表面  
8、生物医学工程  
 
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