白光干涉仪的特点和应用领域
点击次数：2067 更新时间：2016-01-26
白光干涉仪特点：
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。
6、扫描仪：闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压
8、测量软件：基于windows/Mac/操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
白光干涉仪应用领域：
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程
