白光干涉仪的特点和应用领域
点击次数:2319 更新时间:2016-01-26
白光干涉仪特点:
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm---200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
6、扫描仪:闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压
8、测量软件:基于windows/Mac/操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
白光干涉仪应用领域:
1、半导体晶片
2、液晶产品(CS,LGP,BIU)
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘(HDD,DVD,CD)
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程