白光干涉仪系统构成和工作原理

【白光干涉仪系统构成】

    ☆光学照明系统采用卤素光源、中心波长为576nm、光谱范围340nm—780nm

    ☆光学成像系统采用无限远光学成像系统、由显微物镜和成像目镜组成

    ☆垂直扫描系统采用闭环反馈控制方式驱动显微物镜垂直移动、移动范围100-1000μm、位置移动精度0.1nm

    ☆信号处理系统计算机和数字信号协处理器组成、采集系列原始图像数据使用数字信号协处理器完成数据解析

【白光干涉仪工作原理】

    白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。