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分享!化学机械抛光机的主要特色和技术指标

点击次数:186 发布时间:2022-11-26
  化学机械抛光机是一种用于电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。它可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。化学机械抛光机在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外,该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。
 
  化学机械抛光机一般采用空气干燥,不要用机器烘干。吸油性:其切削力弱于羊毛切削力,不会留下旋纹,能有效去除中度的漆面缺陷。抛光盘底面具有自动粘贴功能,可以快速转换抛光轮。适用于车内普通漆、透明漆的磨光、抛光,一般用于毛料抛盘后抛光、打蜡。使用方法:温水洗净,挤去水份,置于洁净处晾干。请勿使用肥皂或清洁剂清洗,不可干洗或机洗,不要用梳毛刷或螺丝刀清洗海绵轮。兔毛抛盘:兔毛抛盘位于毛线抛盘与海绵抛盘之间,底部有自动粘贴,可用来清洁车身。
 

 

  产品主要特色:
  1、CMP抛光头:采用气囊加载模式,3区压力分区控制,可得到良好的工业级抛光效果;
  2、自动上下片,自动抛光,干进干出;
  3、抛光垫修整器:摆臂式设计,抛光垫分10区修整控制,可调整修整器下压力及每个区域的修整时间,可保证抛光垫高水平修整;
  4、抛光垫修整器:具有在线修整与离线修整两种模式;
  5、工艺数据可实时监测;
  6、可存储多个Recipe;
  7、带全自动手臂及自动双面清洗设备模块。
 
  化学机械抛光机的技术指标:
  1、采用去离子水粘贴硅片或采用真空吸附硅片进行抛光,摒弃传统的涂蜡粘贴硅片的方式,有利于抛光后硅片的清洗;
  2、具备背压功能,能够显著提升抛光的均匀性;
  3、具备抛光终点检测系统,防止过抛。
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