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三维形貌仪在实际应用中有哪几种校准方法?

点击次数:166 发布时间:2022-11-28
  三维形貌仪通过光学捕获多个表面图像,在XYZ轴上将图像拼接在一起并量化数据以计算粗糙度、台阶高度、薄膜厚度、曲率、弯曲度和缺陷来表征三维表面形貌。使用传统的二维光学显微镜,实现这些是不可能的。有多种不同类型的技术可用于创建表面的二维和三维图像,产品使用它们进行组合来测量三维图像表面。
 

 

  目前,三维形貌仪适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值,交互缩放,X-Y和线段剖面,三维线路、混合和固定绘图,用于阶越高度测量的地区差异绘图。
 
  三维形貌仪的几大校准方法:
  1、三维形貌校准:
  这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
  2、二维光强校准:
  这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;真彩模式可以复现表面彩色信息。
  由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为二维光强校准。
  3、横向校准:
  这一校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
 
  三维形貌仪很多测试结果和分析设置,如沟槽宽度,孔径尺寸,坡度斜率,空间滤波,拼接测量,都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析,横向尺寸的标定是至关重要的。
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