您好,欢迎进入北京中精仪科技有限公司网站!
一键分享网站到:
产品列表

—— PROUCTS LIST

相关新闻

—— NEWS

产品中心Products 当前位置:首页 > 产品中心 > svt半导体镀膜设备 > 美国SVT公司MBE分子束外延系统 > 美国SVT公司MBE分子束外延系统

美国SVT公司MBE分子束外延系统

美国SVT公司MBE分子束外延系统

更新时间:2020-04-24

产品型号:SVT-35等

厂商性质:经销商

生产地址:

产品报价:

产品特点:美国SVT公司MBE分子束外延系统
美国SVT公司是世界*的MBE供应商,具有20年的MBE设备制造经验。数位核心工程师拥有25年以上的MBE经验。
占据美国主要科研市场的SVT分子束外延系统,以其专业化的超高真空技术和薄膜生长技术搏得了广大客户的青睐。
SVT公司拥有独立的应用实验室,可以为客户提供完善的工艺技术服务。和客户之间建立共同研发及合作的技术平台。
SVT公司建立完善的售后服

产品详情

美国SVT公司MBE分子束外延系统


美国SVT公司是世界MBE供应商,具有20年的MBE设备制造经验。数位核心工程师拥有25年以上的MBE经验。


占据美国主要科研市场的SVT分子束外延系统,以其专业化的超高真空技术和薄膜生长技术搏得了广大客户的青睐。


SVT公司拥有独立的应用实验室,可以为客户提供完善的工艺技术服务。和客户之间建立共同研发及合作的技术平台。


SVT公司建立完善的售后服务体系。在北京、香港、美国总部都有服务工程师。

 

型号应用样品尺寸

35-4

III-V, 或其他化合物半导

 

4’’

35-N

氮化物半导体

4’’或3X2’’

35-6

III-V或II-VI   或其他化合物半导体

4’’, 6’’或多片2’’

35-G-4

III-V化合物,SiGe

4’’

SM-6

Si,Ge,金属

4’’或6’’

S-8

Si,Ge,介质材料

8’’可配集成腔室

SVT-V

化合物半导体,氮化物,氧化物,铁磁材料

2’’或3’’

35-D

双生长腔室,III-V或II-VI 或其他化合物半导体,铁磁材料

3’’或4’’

35-V

CIGS

3’’或4’’

NanoFab

II-V,II-VI,II-氧化物,III-氮化物以及其他材料

1’’或2’’

UVD-02

氧化物或其他介质材料

4’’, 可配有液态源

PLD-02

氧化物半导体、高温超导材料、光学晶体材料、电光学薄膜、铁电以及铁磁材料等

4’’, 激光/电子束沉积

35V14

化合物半导体,氮化物,氧化物,铁磁材料

14’’或多个小尺寸

 

 

SVT MBE系统是模块化设计,主要包括装载室模块,预备或分析室模块,主生长室模块。可配10个源,线性移动挡板。每个模块都有独立的抽气系统。模块间有闸板阀相互隔离,互不影响。

 

Model 35-6 AlGaAs(或其他半导体材料)研究和生产型设备,

样品尺寸可达6英寸。

可容纳10个cell。

真空度< 1×10-10Torr。

可配普通束流源、裂解源RF源电子束蒸发源。


Model 35-N-V 标准4''衬底MBE平台,用于生长高质量的氮化物半导体材料。

可容纳10个cell。

真空度< 1×10-10Torr。

设计考虑了严格的活性氮环境并配有高温衬底加热器。

氮源的种类包括RF氮源和氨气入射源。


26-O-V 氧化物MBE系统具有弹性配置。

真空度< 1×10-10Torr。

此多元化MBE平台可以生长研究各种氧化物材料。

该系统可以配备多坩埚电子束蒸发源以及10个热蒸发源或等离子源等。

氧化物MBE还包括:26-O-C紧凑型氧化物MBE、26-O-6大样品氧化物MBE等各种型号。


Model SM-6 SiGe系统用于生长高质量的Si/Ge及相关化合物。

真空度< 1×10-10Torr。

可容纳9个普通源及1个电子束蒸发源,或6个普通源及2个电子束蒸发源。

该系统集成了电子束蒸发和热源蒸发两种沉积技术,

并通过传感器反馈控制技术实现薄膜制备的高度再现性。

 

 

 

 

 

 

 如果你对SVT-35等美国SVT公司MBE分子束外延系统感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
版权所有 © 2021 北京中精仪科技有限公司  ICP备案号:京ICP备18003613号-1
QQ在线客服
电话咨询
  • 18013892749
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站