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SVT公司 RHEED及图像获取系统

SVT公司 RHEED及图像获取系统

更新时间:2020-04-24

产品型号:RHEED

厂商性质:经销商

生产地址:

产品报价:

产品特点:SVT公司 RHEED及图像获取系统
产品简介:
反射高能电子衍射仪是MBE制程的一部分。在薄膜沉积过程中,RHEED给客户提供了重要的信息。
    首先,RHEED图像表征样品表面的状态。
    其次,其强度震荡可以提供生长速率的量化数据。
        RHEED提供了清晰的焦点,以及衍射图样,并能够在屏幕上高亮度显示。
    电子光学部件有磁性保护罩,便于提高操作性。

产品详情

产品简介

反射高能电子衍射仪是MBE制程的一部分。在薄膜沉积过程中,RHEED给客户提供了重要的信息。

    首先,RHEED图像表征样品表面的状态。

    其次,其强度震荡可以提供生长速率的量化数据。

    RHEED提供了清晰的焦点,以及衍射图样,并能够在屏幕上高亮度显示。

    电子光学部件有磁性保护罩,便于提高操作性。

 

可选部件:RHEED图像分析硬件和软件系统,可以实时获取RHEED图样,使用户便于观察和控制薄膜生长质量。完整的RHEED系统包括 10KeV RHEED电子束源,电源及配套光缆。


技术参数

束流电压  10KV
灯丝电流   3A
发射电流 5A
光斑大小1.0mm   (17’’/1075px距离
烘烤温度230℃

 

RHEED Electron Source
2.75"和4" 法兰
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相机
实时分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components

 

主要特点

实时检测外延生长

测量薄膜生长速率

单晶薄膜的生中速率测量

光学部件带有磁性罩

 

 

 

 

 

 

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