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美国SVT RF/射频等离子源

美国SVT RF/射频等离子源

更新时间:2020-04-24

产品型号:2.75/4.5“/6.0''

厂商性质:经销商

生产地址:

产品报价:

产品特点:美国SVT RF/射频等离子源
产品简介:
美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号。
法兰接口包括: 2.75''、4.5''、6''。
等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。
产生的束流含有零离子,有助于生长高质量的薄膜,也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。
高生长率等离子体源能够在生长速率大于4

产品详情

美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号

法兰接口包括: 2.75''、4.5''、6''。

等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。

产生的束流含有零离子,有助于生长高质量的薄膜,也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。

高生长率等离子体源能够在生长速率大于4μm/hr的情况下生长高质量的薄膜。

光阑和等离子腔形状可以顾客定制,以满足客户对不同流量的需求。

软件作为可选项,能够实现自动操作,允许用户保存数据,编写工艺程序。

 

特点

可提供N²、O²、H²等离子源

生长速率大于4μm/hr

源设计有等离子体观察窗口

光阑和等离子腔形状可以客户定制

RF自动调节可选

 

RF 功率200-600W
气体流量0.1-10SCCM
法兰4.50’’ CF
源直径2.35’’
水冷却0.17GPM 流量(0.227m3/hr)
RF匹配网络手动调节(自动调节可选)
等离子腔PBN,氧化铝,石英

 

 

 

 

 

 

 

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