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美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD

美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD

更新时间:2020-04-24

产品型号:PLD-01/PLD-02

厂商性质:经销商

生产地址:

产品报价:

产品特点:美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD
产品简介:
●SVT SMART(Scientific Materials and Applied Research Tool)脉冲激光沉积系统具有优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术(如RF源)集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料。
● 配有6个旋转靶台,实现多层薄膜结构生长。
● 可与准分子激光和Yag激光相连。
● 在线

产品详情

应用

● 多元素复合氧化物

● 高温超导材料

● 磁性材料、金属材料

● 低蒸汽压材料

● MEMS

 

基本系统

腔室及真空泵

12’’ 快速门,250l/s 分子泵,全量程规

 

沉积源

靶台,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋转,

可Z方向移动

 

样品台

1’’(25mm)大小,可加热至800oC(1000oC可选),可水平旋转,可Z方向移动

 

在线工艺监控

石英晶振沉积速率监控仪

 

自动化

自动化装置:

控制样品温度和旋转

靶台的位置控制

靶台旋转

气体控制

速率及厚度计算(利用QCM输出)

激光束扫描(可选)

激光束屏蔽控制

自动泵抽和充气

差分泵抽结构

RHEED分析(可选)

装载室压强监控(可选)

 

主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE (L-MBE)系统
自动软件控制

提供更洁净的薄膜生长环境,控制解决方案

 

 

 

 

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