产品列表
—— PROUCTS LIST
相关新闻
—— NEWS
产品中心Products 当前位置:首页 > 产品中心 > svt半导体镀膜设备 > 美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机 > 美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机
产品详情
美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机介绍
SVT公司的样品解理部件可以将15mm(其他尺寸可选)的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。
所有解理出的bar条被收集到样品托,堆叠在一起进行下一步批量加工。
*设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*适用于UHV环境。
解理机可以增加钝化层沉积模块。
解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室,不用暴露大气。
美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机规格
在线bar条解理
加工15mm×15mm 样品(10mm-32mm可选)
加工成15mm×1mm 样品(1mm-5mm宽度可选)
8''法兰接口
可烘烤至180℃,(200℃可选)
样品可以两种方向加工
UHV环境兼容
Cassette装取
如果你对WP-15美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系: |