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美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机

美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机

更新时间:2023-06-16

产品型号:WP-15

厂商性质:经销商

生产地址:

产品报价:

产品特点:美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机
SVT公司的样品解理部件可以将15mm(其他尺寸可选)的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。
所有解理出的bar条被收集到样品托,堆叠在一起进行下一步批量加工。
*设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*适用于UHV环境。
解理机可以增加钝化层沉积模块。
解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室,不用暴露大。

产品详情

美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机介绍

SVT公司的样品解理部件可以将15mm(其他尺寸可选)的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。

所有解理出的bar条被收集到样品托,堆叠在一起进行下一步批量加工。

*设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可*适用于UHV环境。

解理机可以增加钝化层沉积模块。

解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室,不用暴露大气。


美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机规格

在线bar条解理

加工15mm×15mm 样品(10mm-32mm可选)

加工成15mm×1mm 样品(1mm-5mm宽度可选)

8''法兰接口

可烘烤至180℃,(200℃可选)

样品可以两种方向加工

UHV环境兼容

Cassette装取





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